洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求,无尘车间洁净室应根据空气洁净度等级的不同要求选用不同的气流流型。
洁净室无尘车间的压差的规定要符合一定的要求:
1、无尘车间洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的无尘车间洁净室之间的压差不宜小于 5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于 5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。
2、洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。
3、送风回风和排风系统的启闭宜联锁。正压无尘车间洁净室联锁序应先启动送风机,再启动回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反。
4、负压无尘车间洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化空调处理。
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