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如何建造一个百级半导体芯片洁净室

半导体芯片制造属于光电半导体行业，有专门的半导体芯片洁净室厂房，其生产车间需要达到百级洁净室。

1、半导体芯片制造的基本流程

制作一颗半导体芯片的生产线是非常复杂的，大约会涉及到五十个行业、2000-5000个工序；就拿代工厂来说，需要先将“砂子”提纯成硅，再切成晶元，然后加工晶元；晶元加工厂包含前后两道工艺，前道工艺分几大模块——光刻、薄膜、刻蚀、清洗、注入；后道工艺主要是封装——互联、打线、密封；光刻是制造和设计的纽带；其中许多工艺都在独立的工厂进行，而使用的设备也需要专门的设备厂制造；使用的材料包括几百种特种气体、液体、靶材，都需要专门的化工工业；另外，集成电路的生产都是在超净洁净室进行的，因此还需要排风和空气净化等系统。

2、百级半导体芯片洁净室厂房

半导体芯片厂对于生产环境的空气洁净度非常挑剔，就算是一粒小小的粉尘，粘在半导体芯片上也可能造成短路，进而直接影响成品率；粉尘的危害尚且如此，空气中的化学污染就更不用说了；因此，半导体芯片生产一般是在无尘室中进行，并且生产半导体芯片的洁净室洁净度达到百级。

3、洁净度百级洁净室的标准：

大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的尘粒数为0；

微生物大允许数：浮游菌每立方米不能超过5个；

温度：22℃±2；

湿度：55%±5；

基本需要满布FFU，做高架地板；

做MAU+FFU+DC系统，还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右；

百级洁净室若非得用换气次数来衡量的话200次/h以上；

百级洁净室若是以层流风速来说的话>0.35 m/s；

百级洁净室若以HEPA高效空气过滤器对吊顶覆盖率的话>50%。

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https://www.acleanroom.com/index.php/assemblycleanroom.html

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